单晶片CMOS+MEMS技术为频率控制市场带来重要进步

　　在标准CMOS芯片上集成高精度振荡器的梦想，已经由Silicon Labs公司和他们最新推出的Si50x CMEMS振荡器系列变为现实。
　　2010年，Silicon Labs通过收购一家名为Silicon Clocks的公司，获得了在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上，实现完全集成的、高可靠性的“CMOS+MEMS”(又称CMEMS) 技术，从而为推出单晶片(single-die)振荡器解决方案，用以替代工业、嵌入式和消费类电子应用中的通用型晶体振荡器(XO)，以及MEMS和传统硅振荡器奠定了基础。
　　“CMEMS振荡器具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度。”Silicon Labs 公司副总裁暨时序产品总经理Mike Petrowski说，“这是频率控制市场的重要技术进步。通过结合MEMS和XO两者的最好特性，我们能够为成本和功耗受限的嵌入式、工业和消费类电子应用提供最佳的通用型振荡器解决方案。”
　　Si50x是首个采用Silicon Labs CMEMS技术的产品系列，由于在单晶片上了集成MEMS谐振器和CMOS振荡器电路，其能够在CMOS工厂进行大批量生产制造，应用目标则锁定于数码相机、存储和内存、ATM机、POS机和多功能打印机等领域。
　　中芯国际(SMIC)负责Si50x振荡器的生产制造。Mike Petrowski认为，SMIC拥有一流的标准CMOS工艺生产线，支持完整振荡器系统的晶圆探测，易于获得最高级的质量和工艺控制。同时，由于CMEMS振荡器是集成的单片IC，配合采用广泛生产的模塑复合物4引脚封装，可再次确保可预见和可靠的供应链。
　　与Silicon Labs所有其他振荡器产品一样，Si50x振荡器可提供网络定制的2周样品交付周期，也可通过Silicon Labs销售合作伙伴在客户现场即刻编程。此外，Si50x振荡器与现有的石英或MEMS振荡器引脚和封装兼容，可实现快速便捷的替换解决方案。
　　Silicon Labs Si501/2/3/4 CMEMS振荡器现已量产，具有三种工业标准的4引脚DFN封装尺寸：2mm×2.5mm、2.5mm×3.2mm和3.2mm×5mm。在一万颗采购量，Si50x振荡器单价为0.44美元起。为了方便CMEMS振荡器评估和应用开发，Silicon Labs还提供Si501-2-3-4-EVB评估套件，价格为99美元，包括预编程的Si504器件和适合各封装尺寸的开放插座，以方便客户评估。