应用材料公司携手MEMS制造商开创感知“芯”世界

　　MEMS最早应用于汽车和打印机，如今越来越多的消费电子产品采用MEMS传感器以实现各种智能功能，但同时也对MEMS传感器提出更高要求：更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS产业的标准化尚未落实，仍然存在“OneProduct,OneProcess”的MEMS定律，这给半导体设备制造商既带来了巨大的技术挑战，又创造了新的市场商机，并推动MEMS工艺不断革新。　 目前，MEMS制造商通过增加产能、采用更大尺寸的晶圆，以及与设计公司合作研发更小的芯片来降低生产成本。应用材料公司完全了解MEMS传感器的设计与制造，并采用业界领先的工艺技术生产MEMS设备，包括深反应离子刻蚀、物理和化学气相沉积、外延淀积、释放腐蚀、化学机械研磨等设备。此外，通过与世界领先的科研机构合作，应用材料正努力研发下一代大批量、低成本的MEMS制造工艺。
　　MEMS产业在中国如火如荼地发展，众多IC代工厂和地方政府谋划布局，新建MEMS生产线。这是应用材料如此贴身中国市场的原因，这里有庞大的客户群。应用材料拥有遍布全球的服务网络和支持架构，其深厚的技术专长和最佳的解决方案可持续满足MEMS制造商的产能需求。调节设备参数、优化工艺的效果可以直接在我们位于西安的全球开发中心最尖端的设备上看到成效。此外，MEMS制造商不仅需要可靠的设备性能，还要确保运营成本获得改善。应用材料公司提供的解决方案，可提高设备的正常运行时间和工厂效率，可让制造商专注于芯片制造，同时降低每片晶圆的制造成本。”据中国微纳技术俱乐部调研，中国涉及MEMS的代工厂主要有：中芯国际、上海先进、华虹-宏力、华润上华，此外还有苏州、淄博、上海等地方政府正在搭建MEMS中试平台。
　　过去三十年信息技术经历了计算时代、通讯时代，当前正步入“感知”时代，传感器市场呈现爆发式增长。应用材料公司正努力扩大MEMS设备的产品组合，并提供一套完整的MEMS解决方案（包括MEMS封装技术，如硅通孔和晶圆级键合），以支持各种MEMS传感器芯片的关键工艺研发，携手MEMS制造商开创感知“芯”世界。